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气体管道设计规范

1、 氢气、氧气和煤气管道以及引入实验室的各种气体管道支管宜明敷。当管道井、管道技术层内敷设有氢气、氧气和煤气管道时，应有换气次数为每小时1～3次的通风措施。

2、 按标准单元组合设计的通用实验室，各种气体管道也应按标准单元组合设计。

3、 穿过实验室墙体或楼板的气体管道应敷在预埋套管内，套管内的管段不应有焊缝。管道与套管之间应采用非燃烧材料严密封堵。

4、 氢气、氧气管道的末端和顶点宜设放空管。放空管应高出层顶2m以上，并应设在防雷保护区内。氢气管道上还应设取样口和吹

扫口。放空管、取样口和吹扫口的位置应能满足管道内气体吹扫置换的要求。

5、 氢气、氧气管道应有导除静电的接地装置。有接地要求的气体管道其接地和跨接措施应按现行有关规定执行。

6、 管道敷设要求：a、输送干燥气体的管道宜水平安装，输送潮湿气体的管道应有不小于0.3%的坡度，坡向冷凝液体收集器。

b、氧气管道与其它气体管道可同架敷设，其间距不得小于0.25m，氧气管道应处于除氢气管道外的其它气体管道之上

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在选择输送管道的材质时，我们需要考虑其渗透性、耐腐蚀性、吸附性、机械工艺性等特性。

1.目前市面上---规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料大多选用不锈钢材质。像不锈钢光亮退火管、不锈钢电抛光管等这类材质相较于其他管道的材质，其精密度更高、吸水性弱，且耐腐蚀性强，而且材料成本相对综合，较受欢迎。

2.对于易炸或者有毒高纯气体，如（sih4）、（ph3）、（ash3）等高纯气体，我们需要使用双套管通道，将其内外都进行保护。双层设计不仅可以保护内管受到外力撞击，也能将由内管渗漏的气体阻绝于外管里面，防止泄露发生安全事故。而且对于这类气体检测装备，像压力警报器、检测泄漏器等设备都需要定期检查，避免泄气漏气。

3、选择管道管材时必须选用无缝管材。且的造型设计、内外直径尺寸都是需要测量的。而且对于材质的磨损缺陷需要及时复查，任何表面不均匀的现象都可能会造成腐蚀性不匀从而造成重大影响。

4、---需要注意的是，所以高纯气体的管路中能使用非金属管线、密封垫片，以及非金属隔膜的减压阀、膜片阀等材质。因为这类气体对于有机聚合物都有较高的渗透率，气体之间的相互渗透将会影响气体的纯度。